Προδιαγραφές
Ο κυκλικός στόχος τιτανίου είναι ένας επίπεδος στόχος σε σχήμα δίσκου-από τιτάνιο, ο οποίος χρησιμοποιείται συνήθως σε εφαρμογές όπως διασκορπισμός, επικαλύψεις ή διαδικασίες εναπόθεσης υλικού. Το κυκλικό σχήμα εξασφαλίζει ομοιόμορφη κατανομή του υλικού όταν χρησιμοποιείται σε διαδικασίες όπως η εναπόθεση λεπτής-μεμβράνης ή η εμφύτευση ιόντων.
Ο κυκλικός στόχος τιτανίου είναι ένα υλικό πηγής τιτανίου σε σχήμα-δισκοειδούς, υψηλής{{1} καθαρότητας, σχεδιασμένο για χρήση σε συστήματα φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), ιδιαίτερα σε διεργασίες διασκορπισμού μαγνητρονίων. Η κυκλική του γεωμετρία του επιτρέπει να τοποθετηθεί σε τυπικές επίπεδες καθόδους διασκορπισμού, όπου βομβαρδίζεται με ιόντα για να εκτοπιστούν άτομα τιτανίου που στη συνέχεια εναποτίθενται ως λεπτή μεμβράνη στα υποστρώματα.
1. Υλικό:
Τυπικά κατασκευασμένο από τιτάνιο (Ti) υψηλής καθαρότητας ή κράματα τιτανίου όπως το Ti-6Al-4V, που προσφέρει εξαιρετική αντοχή, χαμηλή πυκνότητα και υψηλή αντοχή στη διάβρωση.
Η καθαρότητα μπορεί να ποικίλλει ανάλογα με τη συγκεκριμένη εφαρμογή, με 99,9% καθαρό τιτάνιο να χρησιμοποιείται συχνά για απαιτήσεις υψηλών-απόδοσης.
2. Σχήμα:
Κυκλικός: Ένας επίπεδος, στρογγυλός δίσκος με σταθερή διάμετρο.
Διάμετρος: Τα κοινά μεγέθη κυμαίνονται από 50 mm έως 300 mm (2 ίντσες έως 12 ίντσες) ή μεγαλύτερα, ανάλογα με τις ανάγκες της εφαρμογής.
Πάχος: Το πάχος του δίσκου είναι συνήθως 2 mm έως 10 mm, αν και μπορεί να ποικίλλει ανάλογα με τις απαιτήσεις του συστήματος ψεκασμού ή εναπόθεσης.
3. Φινίρισμα επιφάνειας:
Η επιφάνεια μπορεί να γυαλιστεί ή να τραχυνθεί ανάλογα με το επιθυμητό αποτέλεσμα της διαδικασίας ψεκασμού ή εναπόθεσης.
Συνήθως προτιμάται μια λεία επιφάνεια για ομοιόμορφη εναπόθεση, ενώ μια τραχιά επιφάνεια μπορεί να χρησιμοποιηθεί για συγκεκριμένα εφέ επίστρωσης.
4.Ιδιότητες:
Υψηλή αντοχή στη διάβρωση σε επιθετικές χημικές ουσίες, ειδικά σε βιομηχανίες όπως η αεροδιαστημική ή οι θαλάσσιες εφαρμογές.
Υψηλό σημείο τήξης (περίπου 1.668 βαθμοί ή 3.034 βαθμοί F), που το καθιστά ιδανικό για διεργασίες υψηλής{{4} θερμοκρασίας.
Ελαφρύ και ισχυρό, καθιστώντας το ιδανικό για εναπόθεση λεπτών-μεμβρανών όπου απαιτείται υψηλός βαθμός ακρίβειας.
5.Καθαρότητα
Οι στόχοι τιτανίου υψηλής{0}καθαρότητας (καθαρότητα μεγαλύτερη από 99,9%) χρησιμοποιούνται συχνά σε διεργασίες επιμετάλλωσης για την εναπόθεση λεπτών υμενίων σε υποστρώματα στην κατασκευή ημιαγωγών, την οπτική και άλλες βιομηχανίες ακριβείας.
Οι στόχοι τιτανίου χαμηλότερης καθαρότητας μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε άλλες διαδικασίες όπως η εναπόθεση τόξου ή για γενικούς σκοπούς επικάλυψης σε διάφορες βιομηχανικές εφαρμογές.
Εφαρμογή
Ημιαγωγοί & Μικροηλεκτρονική:
Εμπόδια διάχυσης και στρώματα πρόσφυσης σε δομές διασύνδεσης τσιπ
Ηλεκτρόδια σε συσκευές μνήμης και αισθητήρες
Επιμετάλλωση πύλης σε τρανζίστορ
Οπτικές & Φωτοβολταϊκές Επιστρώσεις:
Αντιανακλαστικές και προστατευτικές επικαλύψεις στους φακούς
Διαφανή αγώγιμα στρώματα οξειδίου (TCO) σε ηλιακά κύτταρα λεπτού-υμενίου
Διακοσμητικές και λειτουργικές επικαλύψεις σε γυαλιά και φακούς κάμερας
Έρευνα & Ανάπτυξη:
Το πιο κοινό σχήμα για συστήματα εργαστηριακής κλίμακας-λόγω τυποποίησης
Χρησιμοποιείται σε πανεπιστημιακά και βιομηχανικά εργαστήρια για την έρευνα της επιστήμης των υλικών
Δημιουργία πρωτοτύπων νέων συσκευών και επιστρώσεων λεπτής-μεμβράνης
Επιστρώσεις ιατρικών συσκευών:
Βιοσυμβατές επικαλύψεις σε εμφυτεύματα και χειρουργικά εργαλεία
Βάση για επικαλύψεις υδροξυαπατίτη σε ορθοπεδικά εμφυτεύματα
Διακοσμητικές & Λειτουργικές Επιστρώσεις:
Υλικό βάσης για νιτρίδιο τιτανίου (TiN) και άλλες έγχρωμες επικαλύψεις PVD
Ανθεκτικές-επικαλύψεις στη φθορά σε εργαλεία κοπής, καλούπια και εξαρτήματα ακριβείας
Δημοφιλείς Ετικέτες: κυκλικός στόχος τιτανίου, Κίνα κατασκευαστές κυκλικών στόχων τιτανίου, προμηθευτές, εργοστάσιο
